Ultragarsinis purškimas yra paprastas, ekonomiškas ir atkuriamas fotorezistų ir poliimidų dangų procesas. Ultragarsinės dangos sistema gali naudoti paprastus sluoksniavimo būdus, kad būtų galima subtiliai valdyti srauto greitį, dangos greitį ir nusėdimo kiekį.
Ultragarso purškimo technologija naudojama puslaidininkių fotorezistinėms dangoms. Palyginti su tradiciniais verpimo dangos ir impregnavimo dengimo procesais, jis turi didelio vienodumo, geros mikrostruktūros kapsuliavimo ir kontroliuojamos dangos srities pranašumus. Per pastarąjį dešimtmetį buvo visiškai įrodyta trimatė mikrostruktūros fotorezistų dangos. Fotorezistinių dangų paruošimo ultragarsinio atomizavimo purškimo procesas yra žymiai pranašesnis už tradicines verpimo dangas, atsižvelgiant į mikrostruktūros pakuotę ir vienodumą.
Ultragarso purškimo sistema gali tiksliai valdyti srauto greitį, dangos greitį ir nusistovėjimo tūrį. Mažo greičio purškimo liejimas apibrėžia purškalą kaip tikslų ir kontroliuojamą modelį, kad būtų išvengta per daug purškimo, gaminant labai plonus ir vienodus sluoksnius. Ši ultragarso purškimo sistema gali valdyti storią nuo „Sub Micron“ iki daugiau nei 100 mikronų ir gali padengti bet kokią formą ar dydį.
Ultragarsinės dengimo technologijos charakteristikos fotorezistui:
◆ Vienoda įvairių paviršiaus kontūrų plėvelės aprėptis
◆ Be kontaktų purškimo
◆ Mikro oro srauto purškimas, kelios skysčio šėrimo schemos
◆ Didelio greičio kontrolės tikslumas
◆ Aukštas skysčių sunaudojimo greitis
◆ Didelis cheminių ir dangos našumo lankstumas
◆ Didelis perdavimo efektyvumas ir minimalios atliekos
◆ Pakartojamas subrendęs purškimo procesas