Poliimido ir fotorezisto ultragarsinio purškimo dangų sistema su mikro antgaliu

Įrodyta, kad ultragarso purškimo sistema tinka įvairioms reikmėms, kurioms reikia vienodų, pasikartojančių fotorezistų arba poliimido plėvelių dangų, ir yra paprastas, ekonomiškas ir atkuriamas fotorezisto ir poliimido dengimo procesas.
Įprastos poliimido ir fotorezisto ultragarsinių dangų taikymo sritys apima, bet tuo neapsiribojant, MEMS, lęšius, mikroskysčių prietaisus, mikroelektroniką ir filtrus. Dengimo sistemomis galima padengti plokščius ir 3D pagrindus, paprastai apimančius silicio drožles, stiklą, keramiką ir metalus.

Ultragarsinis antgalis yra derinimo įrenginys, pagrįstas specifiniu dažnio rezonansu. Didžiausias jų ilgis ir skersmuo yra atvirkščiai proporcingi rezonanso dažniui, o dažnių diapazonas yra nuo 25 iki 120 kHz; Tai reiškia, kad kuo didesnis ultragarso dažnis, tuo mažesnis keitiklis, o vidutinis purkštuko purškimo sukuriamas lašelio dydis taip pat sumažės.

Ultragarsinis antgalis susideda iš kelių dalių. Varomąjį komponentą sudaro pora pjezoelektrinių keitiklių, kurie elektros energiją paverčia mechaniniu judesiu. Aukšto-dažnio maitinimo šaltinis tiekiamas iš atskiro generatoriaus, kuris gali užsifiksuoti ant purkštuko rezonanso dažnio. Keitiklis yra tarp dviejų titano cilindrų, kurie sustiprina keitiklio vibracinį judesį, kad maksimaliai padidintų jo poveikį purškimo paviršiui. Pasirinkome titaną kaip medžiagą, nes jis pasižymi dideliu atsparumu tempimui, geromis akustinėmis savybėmis ir puikiu atsparumu korozijai.

Skystis per didelį{0}}skersmens kanalą per visą antgalio ilgį transportuojamas į purškimo paviršių. Kai skystis pasieks purškimo paviršių, jis susidurs su didelės amplitudės vibracijomis, kurios suskaidys jį į mažus lašelius, kurie juda mažu greičiu (mažiau nei 3 coliai per sekundę). Norint pasiekti šį efektą, programos galia turi būti gana siaura. Dėl per mažos galios antgalis nustos veikti, ty dabar neįvyks purškimas; Jei elektros srovė bus per didelė, skystis suplyš į masyvius gabalus, o tai nebetinka purškimui. Paprastai purkštuko elektra svyruoja nuo 1 iki 15 vatų, priklausomai nuo tikslios išpurškiamo skysčio grafiko ir namų.

Populiarus Žymos: poliimido ir fotorezisto ultragarsinio purškimo dangos sistema su mikro antgaliu, Kinijos poliimido ir fotorezisto ultragarsinio purškimo dangų sistema su mikro purkštukų gamintojais, tiekėjais, gamykla